利用深度學習中的卷積神經網路(CNN)對半導體晶圓的圖像進行自動化缺陷分類,提升生產效率並降低人工檢測的成本與錯誤率。
- Python
- TensorFlow
- Keras
- Scikit-learn
- Pandas
- Numpy
- 使用卷積神經網絡(CNN)進行晶圓缺陷分類,成功將缺陷分類為 9 類,並在測試集上達到 95.5% 的準確率。
- 測試損失為 0.206,顯示出模型在分類任務中的高效表現。
- 透過 批標準化(Batch Normalization)、最大池化(Max Pooling) 和 Dropout 技術提升了模型的穩定性,並有效防止過擬合。
- 進行了資料預處理和特徵工程,包括處理遺失值、標籤轉換以及數據格式化,為模型提供了高質量的訓練資料。
- 點選 半導體製程晶圓缺陷分析.ipynb 查看程式碼與結果展示。