数字光刻成像模拟系统

系统介绍

数字光刻成像模拟系统是一个基于Hopkins成像理论和遗传算法优化的先进光刻仿真平台。

技术架构

gradio_app/
├── components/               # 可复用组件
│   ├── performance_monitor.py # 性能监控
│   └── state_manager.py      # 状态管理
├── config/
│   ├── theme_config.py       # 主题配置
│   └── lithography_config.py # 光刻参数配置
├── layouts/                  # 界面布局
│   ├── header.py             # 页头
│   ├── input_panel.py        # 输入面板
│   ├── output_panel.py       # 输出面板
│   └── footer.py             # 页脚
├── assets/                   # 静态资源
│   └── styles.css            # 页面样式
├── app.py                    # 主程序
core/                     # 核心业务逻辑
├── lithography_simulation.py  # 光刻仿真核心
├── genetic_algorithm.py       # 遗传算法优化
utils/                    # 工具函数
└── image_processing.py

安装指南

系统要求

• Python 3.8+
• Web浏览器（Chrome、Firefox、Safari等）

安装步骤

1. 安装依赖

   pip install -r requirements.txt

2. 运行系统

   cd gradio_app
   python app.py

3. 访问系统 系统启动后，在浏览器中打开 http://127.0.0.1:7860

参数说明

默认参数值

参数	name	默认值	说明
波长	wavelength	405 nm	紫外光波长
距离	distance	803000000 nm	光刻距离
像素尺寸	pixel_size	7560 nm	DMD微镜尺寸
图像尺寸	image_size	30 pixels	仿真图像尺寸
折射率	refractive_index	1.5	光学系统折射率
部分相干因子	sigma	0.5	光源相干性
数值孔径	numerical_aperture	0.5	光学系统数值孔径
种群大小	population_size	50	遗传算法种群规模
迭代次数	generations	20	遗传算法迭代次数
交叉概率	crossover_rate	0.4	遗传算法交叉概率
变异概率	mutation_rate	0.4	遗传算法变异概率

版本信息

• 当前版本：1.0
• 更新日期：2025年10月
• 开发团队：课题组

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注意：本系统为研究用途，实际光刻工艺参数请参考设备制造商的技术规范。